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離子束刻蝕系統 
 

離子束刻蝕系統：
離子束刻蝕系統是為無塵室操作而設計的，Nanoquest II使得蝕刻模塊始終呆在無塵室的服務區內。系統元件，如防護物和其他耐用部件，很容易在服務區存取。雙門蝕刻模塊可以使維修從試驗箱的任何一側開始。UHV設計規則確保該蝕刻模塊和負載鎖定試驗箱有較低的基地壓力。高速真空泵不僅提供了快速泵，而且同時也減少了離子束氣體的碰撞。

Intlvac 的Nanoquest II離子束刻蝕系統新整合了一個水冷旋轉階段，一個22厘米RF 離子源，一個不銹鋼真空箱，低溫高真空泵系統，自動水泵和通風口，高真空計大氣，流量控制器，試驗箱櫥.

高性能:
帶有150毫米和100毫米晶圓壓盤的Nanoquest是專為較小型號晶圓板批處理加載碳涂層配置所設計。100毫米直徑范圍內的均勻性為± 3 ％，晶圓與晶圓的可重復性± 2 ％ 。 Nanoquest是您加工的理想平臺。
系統配置和布局:
真空箱是運用UHV可兼容裝配技術，全部使用不銹鋼材料建造而成，其外觀經過電拋光處理，整潔，美觀。連續的不銹鋼冷卻管道焊接在箱體外面，成網狀，提供高效率的散熱片。

離子束刻蝕系統：
◆ 單晶圓負載鎖定離子束刻蝕系統可用于最大150毫米的晶圓。
◆ 用戶可通過電感耦合等離子體屏柵離子源選擇光束電壓和電流密度。
◆ 在離子束的運行期間，基板階段使得水冷系統在積極運作的同時旋轉，傾斜。
◆ “低調的”無塵室界面把儀器箱和蝕刻模塊放在無塵室墻壁后面。
 

公司介紹：

愛派克公司成立于1999 年，從事國際領先測試技術和產品的代理業務，為國內主要的科研單位、高等院校、檢測機構以及為數眾多的軍工企業、汽車企業、電子企業、裝備工業、外資企業、新能源領域提供全球領先的測試產品、檢測技術和售后服務。

Excellent 卓越的品質：

“匯集世界- 惠及中國”是愛派克公司的使命，我們致力于引進全球最領先的測試技術和檢測設備，形成我們具備核心競爭力的集成解決方案；今天愛派克已經成為八個國家的十多家公司在中國的合作伙伴。這些全球最知名的檢測設備制造商采用最新的科技和最先進的設備為中國客戶提供最先進的技術和專業的服務，提供高可靠性的產品和解決方案。

Professional 專業的團隊：

公司的技術團隊由具有海外教育背景的博士、碩士和經過國外廠商專業培訓的資深工程師組成，具有極高的專業素質，為重點客戶提供長期、專業、全方位的技術服務。

 Comprehensive 全面的服務：

 愛派克公司在北京、上海、廣州、西安和香港設有分公司和辦事處服務全國用戶。公司提供的服務包括：檢測咨詢、方案設計、實驗室規劃、產品銷售、培訓服務、設備維護、升級改造、檢測服務；以及根據客戶需求進行新產品的研發和定制。

Original 創新的理念：

 創新是企業發展的動力，愛派克公司將廠商、用戶融入到公司創新體系中，形成最為和諧的創新利益結合體；通過不斷地進行組織創新提供更好的服務團隊，產品創新提供最好的設備，服務創新提供更及時的服務，利益鏈創新能夠把廠商、用戶和公司有效地鏈接形成共贏的團體。