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離子束反應濺射系統
 

Intlvac的Nanoquest系統是薄膜和材料研究的一個通用研發平臺.該系統是直徑為4”單基板的最優選擇. Nanoquest平臺可允許:離子束蝕刻, 離子束濺射,離子輔助蒸發,以及離子輔助濺射都在同一平臺 上運行．獨特的設計與基板臺，允許基板以360度的傾斜和旋轉進行冷卻或加熱。該系統是安裝在一個壓縮的整塊鋼架上，鋼架上帶有一個整體電子機架，以盡量減少實驗室或無塵室的空間。高真空的設計理念確保了快速周期時間和最低壓力的性能。超高壓氣體分布確保了離子源操作的穩定性。

高真空泵:
閉合式循環泵與氦低溫泵或渦輪增壓拖動泵以及干式低真空泵一起使用使得系統實現了完全無油。
標準配置:
·尺寸：直徑為20，長為20的氣缸，裝有鉸接前門和焊接不銹鋼冷卻通道。基板臺是安裝的門。
·不銹鋼架和完整的儀器架。機架固定在觸摸屏PLC控制器上，用于自動抽水，壓力控制，氣體流量控制，以及離子源的操作。
Nanoquest 1400R
·用于反應氣體操作的蝕刻系統：O2, N2
·除了為電子源使用一個空心陰極，或等離子中和劑之外，基本與惰性氣體系統類似．

Nanoquest 1400
·為惰性氣體操作而設計的蝕刻系統
·該系統有用于４，８或者１4厘米離子源，ＤＣ或者１4厘米ＲＦ離子源。
操作的離子源孔.
高流量，直接水冷2704階段與用于四分之一晶圓和晶圓壓板的干夾頭安裝。0 - 7rpm的階段旋轉，帶手動角度傾斜。20 sccm超高壓氬氣線的氣體流量控制。

公司介紹：

愛派克公司成立于1999 年，從事國際領先測試技術和產品的代理業務，為國內主要的科研單位、高等院校、檢測機構以及為數眾多的軍工企業、汽車企業、電子企業、裝備工業、外資企業、新能源領域提供全球領先的測試產品、檢測技術和售后服務。

Excellent 卓越的品質：

“匯集世界- 惠及中國”是愛派克公司的使命，我們致力于引進全球最領先的測試技術和檢測設備，形成我們具備核心競爭力的集成解決方案；今天愛派克已經成為八個國家的十多家公司在中國的合作伙伴。這些全球最知名的檢測設備制造商采用最新的科技和最先進的設備為中國客戶提供最先進的技術和專業的服務，提供高可靠性的產品和解決方案。

Professional 專業的團隊：

公司的技術團隊由具有海外教育背景的博士、碩士和經過國外廠商專業培訓的資深工程師組成，具有極高的專業素質，為重點客戶提供長期、專業、全方位的技術服務。

 Comprehensive 全面的服務：

 愛派克公司在北京、上海、廣州、西安和香港設有分公司和辦事處服務全國用戶。公司提供的服務包括：檢測咨詢、方案設計、實驗室規劃、產品銷售、培訓服務、設備維護、升級改造、檢測服務；以及根據客戶需求進行新產品的研發和定制。

Original 創新的理念：

 創新是企業發展的動力，愛派克公司將廠商、用戶融入到公司創新體系中，形成最為和諧的創新利益結合體；通過不斷地進行組織創新提供更好的服務團隊，產品創新提供最好的設備，服務創新提供更及時的服務，利益鏈創新能夠把廠商、用戶和公司有效地鏈接形成共贏的團體。